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fs1015cl系列气体质量流量传感器 fs1015cl系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（mems）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150slpm，iso 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
fs4308系列气体质量流量传感器 fs4300系列气体质量流量传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置。该传感器工作压力提高到0.8mpa，测量范围涵盖（0~2）slpm到（0~50）slpm。本产品可用于医疗设备中的麻醉机、内窥镜等；工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等；环境监测中的大气采样器等。
mf3000系列气体质量流量计 mf3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8mpa，测量范围涵盖（0~2）slpm到（0~1500）slpm。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
mf4000系列气体质量流量计 mf4000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。mf4000工作压力提高到0.8mpa，测量范围涵盖0~50slpm。mf4000提供多种信号输出，通过rs323、rs485或i2c数字通讯接口可实现远程数据采集与设置。mf4000具备led数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。
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    矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，siargo ltd. ）成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程mems气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一mems流量芯片及其专利封...
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